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Lumasense Impac ISR6 SIC單晶爐測溫儀距離系數(shù)比高達350：1，可以確保單晶爐開孔較小的情況下實現(xiàn)準確測溫;ISR6調(diào)焦輪后置，調(diào)焦步進達到毫米級別，方便在任何時候準確調(diào)整焦距.ISR6的溫度范圍600-3000℃；ISR6有激光、透鏡和TV等多種瞄準方式可選；

Photrix 紅外測溫儀，具有優(yōu)異的信噪比，測溫下限可低至75℃，上限可高達2600℃的數(shù)字式高溫計。非常適用于閉環(huán)控溫。

Photrix 外延片測溫儀，具有優(yōu)異的信噪比，測溫下限可低至75℃，上限可高達2600℃的數(shù)字式高溫計。非常適用于閉環(huán)控溫。

UV400 GaN基外延片測溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實測量，溫度范圍650…1300℃

Sekidenko OR4000T 紅外測溫儀可實現(xiàn)兩通道多波長測溫。其光學(xué)系統(tǒng)可依據(jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍寶石光管。相較于Sekidenko OR4000T增加了發(fā)射率實時測量功能。

Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀可實現(xiàn)兩通道多波長測溫。其光學(xué)系統(tǒng)可依據(jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍寶石光管。相較于Sekidenko OR4000T增加了發(fā)射率實時測量功能。

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀可根據(jù)材料類型和所需溫度范圍配置波長?？筛鶕?jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍寶石光管光學(xué)系統(tǒng)。

Sekidenko OR400M 外延片測溫儀可選波長3.3或5.2μm，具有RS232數(shù)字輸出和模擬輸出接口，適用于薄膜太陽能，玻璃，半導(dǎo)體工藝溫度的精確測量。